内容编辑 日本yutaka-crown高压流量调节器L20 L21
分类: 自动化ji机电控制设备
发布时间: 2023-03-10 14:53
千斗工业科技有限公司专业代理日本yutaka-crown压力调节器，减压阀， 压力调整器
L20系列是专为高压型半导体工艺制造气体而设计的产品，基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，是具有出色外部泄漏和颗
千斗工业科技有限公司专业代理日本yutaka-crown压力调节器，减压阀， 压力调整器
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L20系列是专为高压型半导体工艺制造气体而设计的产品，基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，是具有出色外部泄漏和颗粒性能的产品。此外，还提供多种选件以支持多种高纯度气体，使其成为气瓶柜的理想选择。
| 入口压力 | 14.8MPa以下（Max.19.6MPa） |
| 调整压力 |
Max.0.99MPa （量程规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 气源压力波动 | 入口压力：每0.1MPa调整压力变化0.00021MPa |
| 承受压力 | 22.2MPa（进口侧） |
| Cv值 | 0.09 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外部泄漏 | 1×10－11Pa・m3/s・He（真空法） |
| 内容量 | 4.67cm（不包括3个压力表和接头） |
| 大量的 | 约1.29kg |
| 安装方法 | 使用前面板安装螺母或后部螺钉安装（见外部视图） |
外观
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L21系列是专为高压型半导体工艺制造气体而设计的产品，基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，基本性能比L20系列有所提高。该产品具有优良的外漏和颗粒性能，是气缸柜的理想选择。
| 入口压力 | 14.8MPa以下（Max.24MPa） |
| 调整压力 |
Max.0.99MPa （量程规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 气源压力波动 | 入口压力：每0.1MPa调整压力变化0.0005MPa以下 |
| 承受压力 | 31.5 MPa（入口侧）、1.5 MPa（调整侧） |
| Cv值 | 0.09 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外部泄漏 | 1×10－11Pa･m3/s･He（真空法） |
| 内容量 | 4.75cm（3个压力表，不含接头） 4.75cm（3个压力表，不含接头） |
| 大量的 | 约1.4kg |
| 安装方法 | 用后螺丝安装 |
